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HORIBA UR-714M-B数字式自动压力调节器

产品时间:2019-06-24

简要描述:

日本HORIBA UR-712M-B数字式自动压力调节器压力控制器UR-Z700系列
日本HORIBA UR-712M-B数字式自动压力调节器压力控制器UR-Z700系列
日本HORIBA UR-712M-B数字式自动压力调节器压力控制器UR-Z700系列
HORIBA UR-714M-B数字式自动压力调节器

HORIBA UR-714M-B数字式自动压力调节器

 

常见的压力控制器是UR-Z700系列,一款数字式自动压力调节器。根据不同用途,该系列还划分为控后端压力的UR-Z700M系列和控前端压力的UR-Z700M-B系列。该压力调节器常运用于MOCVD或CVD工艺中。在工艺过程中,当供气压力突然发生变化时,管道或罐体内的压力也随之发生变化,这不仅会影响整条管路流量的稳定,可能会对整台设备的安全造成威胁。对于这个问题HORIBA集团研发出UR-Z700系列,通过快速响应,高精度,稳定控制来调整管路压力。面对这种情况,只要管路装载UR-Z700系列就能够稳定的控制压力,气体质量流量控制器及反应源液的安全稳定运行。

特征

 

    • 可使用DeviceNet控制接口
    • 符合环保要求的RoHS处理

 

                 制造: HORIBA STEC

  • 复合气体/复合流量功能-气体种类和全流量可以由客户更改。
  • 可变PID功能提供全流量范围高速响应时间(在一秒以内)
  • 紧凑型气路-不需要调压阀,压力传感器和过滤器
  • 稳定气体流量控制,不受上流和下流压力的影响
  • 集成进气端压力传感器
  • 自身多种显示
  • 精度保证1%设定流量
  • 超洁净设计:金属密封圈,所有都是SUS-316L不锈钢,并且经过表面抛光(标准)
  • 紧凑型尺寸-50SLM以内采用一样的尺寸
  • 信号兼容-模拟/RS485数字模式,DeviceNet模式
  1. 网络功能-通过数字信号控制

 HORIBA UR-714M-B数字式自动压力调节器

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