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HORIBA S500热式气体质量流量计

产品时间:2019-06-24

简要描述:

HORIBA S500热式质量流量计,气体质量流量计,质量流量控制器
特点;高精度
快速响应
自动调零
任意角度安装
HORIBA S500热式气体质量流量计

HORIBA S500热式气体质量流量计

 HORIBA S500热式质量流量计,气体质量流量计,质量流量控制器

特点

     

  • 高精度
  • 快速响应
  • 自动调零
  • 任意角度安装

产品规格

   项目S500 (规格Type AR111)
外部密封氟橡胶
接触气体材料SUS316L,氟橡胶,磁性不锈钢
调节阀类型非通电时常闭
满量程流量(N2换算流量)10,20,30,50,100,200,300,500 mL/min
1,2,3,5,10,20,30 L/min
流量控制范围2%~100%F.S. (0.1~5V DC)
流量测量范围0~100%F.S. (0~5V DC)
响应时间(输出电压) 1秒 (保证 1.5秒以内T98)   
工作环境温度5~45℃ (精度保证 15~35℃)
流量精度±1.0%F.S
线性±0.5%F.S.
重复性±0.2%F.S.
工作压差10mL/min~5L/min :50~300kPa(d)
10L/min~30L/min :100~300kPa(d)
最大工作(使用)压力300kPa(G)
耐压3MPa(G)
泄漏率1×10-8Pa?1?1m3/s(He)以下
流量设定信号0.1~5VDC(2%~100%F.S.)
流量输出信号0~5VDC(0%~100%F.S.)
供电电源+15V±5% 100mA以下
-15V±5% 150mA以下
管路接头1/4inch HM-SWL、1/4inch SWL、φ6mm HM-SWL、1/4inch VCR
安装角度任意
电气接头D-Sub 15pin
输入输出阻抗输入:1MΩ以上  输出:3mA以下
附加功能Auto-zero、Auto-close

**满量程流量50mL/min一下的响应时间为2S以内  HORIBA S500热式气体质量流量计

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