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horiba S48-28HMT热式气体质量流量控制器

产品时间:2019-06-20

简要描述:

horiba S48-28HMT热式气体质量流量控制器
概要;

可以任意角度安装
良好的线性——多段线性补偿
快速的响应
电磁阀使用寿命≥100万次
对零点漂移有效的抑制
零配件供应 ——传感器、分流器、精密元器件日本进口
良好的选择性

horiba S48-28HMT热式气体质量流量控制器

概要;

  • 可以任意角度安装
  • 良好的线性——多段线性补偿
  • 快速的响应
  • 电磁阀使用寿命≥100万次
  • 对零点漂移有效的抑制
  • 零配件供应 ——传感器、分流器、精密元器件日本进口
  • 良好的选择性
    编号项目S48 28/HMT
    1流量规格 (100,150,200)L/min
    2调节阀类型电磁调节阀
    3调节阀静止状态常闭
    4安装角度任意
    5流量控制范围5%~100%
    6流量测量范围0~100%
    7响应时间2s(T98,设定值的±2% F。S。)
    8工作环境温度5℃~50℃
    9精度保证温度15℃~35℃
    10精度±1。0%F。S。
    11线性精度±0.5%F.S.
    12重复性±0.2%F.S.
    13工作压差(100/150/200)L/min:(100/150/200)~300kPa
    14耐压3MPa
    15泄漏率1×10-8 Pa•m3/s (He)
    16接触气体材料316L,PTFE,Viton氟橡胶
    17管路接头Swagelok:3/8″ Φ10  VCR:1/2″
    VCR:1/4″3/8″
    18供电电源±15VDC(±5%)  
    +15V,<100mA;-15V,<200mA
    +24VDC(宽电压+11~+25V),
    <350mA(+24VDC供电时)
    19设定信号(0~5)VDC 输入阻抗>1MΩ4~20mA;(可定制:1~5V或0~5V)
    20流量输出信号(0~5)VDC 负载能力≤3mA 
    21电气接头D-SUB15,D-SUB9
    22重量(kg)2.8
     

    S48 28/HMT 安装尺寸图:

  • horiba S48-28HMT热式气体质量流量控制器

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