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HORIBA SEC-E50V(MK3)气体质量流量控制器

产品时间:2019-07-02

简要描述:

HORIBA SEC-E50V(MK3)气体质量流量控制器
被广泛的应用于半导体、太阳能、实验室、环境监测仪中。尤其在扩散炉中得到了广大客户的支持。适用于从微小流量0.2sccm到大流量500slpm的控制。

HORIBA SEC-E50V(MK3)气体质量流量控制器

 

· 适用于广泛范围的流量控制:在同一系列中,适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制

· 适用于广泛的用途:在普通产业市场中,拥有众多的销售业绩,引以为豪。

· 低成本:产品阵容中有力求具有成本优势的型号: SEC-E40MK3/E50MK3

 技术规格

 

型号

SEC- (质量流量控制器)

E40/E40MK3

E50/E50MK3

SEF- (质量流量计)

E40

E50

适用气体种类*1

非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)

气体接触部材质

SUS316L。氟化橡胶。PTFE、磁性不锈钢

阀门型号

非通电时 关闭

标准流量量程 (N2相应F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范围
(适于SEC系列)

2〜100% F。S。

流量测量范围
(适于SEF系列)

0〜100% F。S。

响应速度

1秒以内(T98)

流量精度

吉祥棋牌下载±1% F。S。

直线性

±0.5% F.S.

反复性

±0.2% F.S.

工作差压值值 
(适于SEC系列)

10 SCCM〜5 SLM:50〜300kPa(d) 10〜30 SLM:100〜300kPa(d)

使用压力
(适于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐 压

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa・m3/s(He)以下

使用环境温度

5〜50℃(精度的确保:15〜35℃)

流量设定信号

0。1〜5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2〜100% F。S。

流量输出信号

0〜5VDC(最小负荷电阻2kΩ)

驱动电源

+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

+15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA

标准接头*2

1/4SWL 类型

 

*1:关于记载以外的气体种类,请另行咨询协商。 
*2也可以适用标准接头以外的接头。请另行咨询协商。 
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭载有自动清零功能。
※入口压力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3:最大值300kPa(G);SEC-70/80:最大值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示气体的流量单位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的记号。

 

电气连接:15针D型接口,±15VDC电源

管路连接:1/4",水平安装

 

订货需知:

吉祥棋牌下载请提供气体名称、量程、接口尺寸、进口压力。

如是更换部件,请提供原产品背面清晰图片。 

HORIBA SEC-E50V(MK3)气体质量流量控制器

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