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HORIBA S48-32HMT气体质量流量控制器

产品时间:2019-07-03

简要描述:

HORIBA S48-32HMT气体质量流量控制器
可以任意角度安装
良好的线性——多段线性补偿
快速的响应

HORIBA  S48-32HMT气体质量流量控制器

  • 可以任意角度安装
  • 良好的线性——多段线性补偿
  • 快速的响应
  • 电磁阀使用寿命≥100万次
  • 对零点漂移有效的控制
  • 良好的选择性
  • 全球化的零配件供应——传感器、分流器、精密元器件日本进口
编号项目S48 32/HMT
1流量规格(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min
(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
2调节阀类型电磁调节阀
3调节阀静止状态常闭
4安装角度任意
5流量控制范围2%~100%
6流量测量范围0~100%
7响应时间2s(T98,设定值的±2% F.S.)
8工作环境温度5℃~50℃
9精度保证温度15℃~35℃
10精度±1.0%F.S.
11线性精度±0.5%F.S.
12重复性±0.2%F.S.
13工作压差~5L/min (50~300)kPa(D)
5L/min~10L/min (100~300)kPa(D) 
30L/min~50L/min (150~300)kPa(D)
14耐压3MPa
15泄漏率1×10-8 Pa•m3/s (He)
16接触气体材料316L,PTFE,Viton氟橡胶
17管路接头Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″
18供电电源±15VDC(±5%)  +15V<100mA,-15V<150mA+24VDC(宽电压+11~+25V),
<250mA(+24Vdc供电时)
19设定信号(0~5)VDC 输入阻抗>1MΩ4~20mA;(可定制:1~5V或0~5V)
20流量输出信号(0~5)VDC 负载能力≤3mA
21电气接头D-SUB15,D-SUB9
22重量(kg)0.9


 

S48 32/HMT 安装尺寸图:HORIBA  S48-32HMT气体质量流量控制器

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